日, 삼성 이어 SK하이닉스에도 에칭가스 수출 허가

3개품목 수출허가 7건으로 늘어
불산액은 아직 수출허가 안내줘 SK, 이달부터 국산 불산액 투입

일본 정부가 지난달 말 삼성전자와 SK하이닉스에 기체 불화수소(에칭가스) 수출을 허가한 것으로 확인됐다. 이로써 수출 규제 대상인 반도체·디스플레이 소재 3개 품목에 대한 수출허가 승인 건수는 총 7건이 됐다.

2일 반도체업계 등에 따르면 일본 정부는 지난달 30일 삼성전자와 SK하이닉스에 각각 에칭가스 수출을 허가했다. 에칭가스는 반도체 주요 공정 중 정밀하게 깎아내는 식각공정에 주로 사용된다.

삼성전자는 앞서 8월 에칭가스 수입허가를 한 차례 받았지만, SK하이닉스가 수입허가를 받은 것은 이번이 처음이다. 이번에 SK하이닉스에 에칭가스를 수출하는 업체는 일본의 쇼와덴코(昭和電工)인 것으로 알려졌다.

SK하이닉스 관계자는 “일본이 초고순도 기체 불화수소 수출을 허가했고 아직 한국에 들어오지는 않은 상태”라고 밝혔다.

유명희 산업통상자원부 통상교섭본부장은 이날 국회 산업통상자원중소벤처기업위원회 국정감사에서 일본 정부의 수출허가 승인 건수가 총 7건이라고 밝혔다. 앞서 산업부는 에칭가스와 플루오린 폴리이미드 각각 한 건, 포토레지스트 3건 등 5건이 수출허가를 받았다고 밝힌 바 있는데, 이번 수출허가 2건이 추가돼 총 7건이 된 것이다.

다만 일본 정부는 주로 반도체 기판인 웨이퍼 식각과 불순물 제거에 사용되는 액체 불화수소(불산액)에 대해서는 수출허가를 내주지 않고 있는 상태다. 수출 규제가 강화되면서 서류 검토에 최대 90일이 소요되는데 90일이 다 되도록 아직 수출허가가 이뤄지지 않고 있는 것이다.

유 본부장은 불산액의 수출 허가 승인이 지연되는 이유에 대해 “자료 보완 요구가 많다”며 “정부는 얼마든지 일본과 협의할 용의가 있고 일본 측에도 요구했으나 일본이 응하지 않고 있다”고 답했다. 이어 “(일본의 수출 규제로 인한) 국내 기업의 애로는 소재부품 수급애로지원센터를 통해 지원하고 있다”고 덧붙였다.

국내 기업들은 국내에서 생산한 불산액을 공정에 투입하며 국산화 작업을 진행 중이다. SK하이닉스는 1일부터 국내 일부 공정에 국산 불산액을 투입하기 시작했다. 삼성전자도 일부 라인과 민감도가 낮은 공정에서 사용되는 불산액을 국산으로 대체한 바 있다.

허동준 기자 hungry@donga.com