28일 반도체 업계와 삼성전자 등에 따르면, 삼성전자는 전날 오후 6시쯤 평택2라인에서 질소 가스 시설과 관련해 점검할 필요성이 있다고 판단, 라인 가동을 멈추고 작업을 진행했다.
삼성전자는 “매우 짧은 시간 동안 시설을 점검한 후 곧바로 가동을 재개, 생산 차질 피해는 거의 없었다”고 설명했다.
삼성전자 평택2라인은 연면적 12만8900㎡, 축구장 16개 크기인 세계 최대 규모 반도체 생산시설이다. 지난해 본격적으로 가동을 시작했으며, 극자외선(EUV) D램과 낸드플래시, 5나노미터(nm·10억분의1m) 이하 초미세 파운드리(반도체 수탁생산) 시설을 갖추고 있다. (서울=뉴스1)
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