반도체 웨이퍼가공장비 韓日 공동개발키로

반도체 검사장비 전문업체인 극동뉴메릭(대표 김한기)은 일본 STC와 공동으로 256메가 이상 D램의 양산에 적용될 차세대 12인치 웨이퍼 가공용 핵심 장비 개발에 나섰다.

극동뉴메릭은 16일 일본 STC와 9대1 지분으로 반도체 식각공정 장비(Etcher)의 개발 및 생산을 위한 합작법인을 설립키로 했다고 발표했다. STC는 장비 개발에 필요한 하드웨어와 소프트웨어 기술을 극동뉴메릭에 이전하고 극동은 생산을 맡게 된다. 향후 취득하는 특허는 양사가 공유키로 합의했다. 극동측은 앞으로 2년간 200억원을 투자, 올해 7월까지 시제품 개발을 마치고 내년부터 본격 생산에 들어갈 계획.

2001년 하반기부터 D램 생산에 본격 채택될 것으로 전망되는 12인치 웨이퍼가 상용화되면 현재 8인치 웨이퍼에 비해 웨이퍼당 반도체 생산량이 2.5배 늘게 된다. 식각 장비는 대당 가격이 25억원에 이르는 고가장비로 지금까지 미국 어플라이드머티리얼, 일본 도쿄일렉트론, 오키 등이 국내시장을 장악해왔다.

<홍석민기자> smhong@donga.com