美, 반도체 中 규제 … 네덜란드 장비 수출 차단

‘2024년 시행’ 앞두고 사전 제동

조 바이든 미국 행정부가 네덜란드 반도체 장비업체 ASML이 중국에 판매하려던 반도체 제조 장비 수출을 차단했다. 올 1월부터 구형 반도체 제조 장비 수출이 금지되는 ASML의 2023년 마지막 장비 수출까지 미국이 막아서고 나선 것이다.

ASML은 1일(현지 시간) 성명을 내고 “네덜란드 정부가 최근 심자외선(DUV) 시스템 출하 허가를 부분 취소했다”며 “최근 미국 정부와의 논의를 통해 미국 수출 규제 규정 범위에 대해 추가 설명을 받았다”고 밝혔다. 구형인 DUV와 최첨단인 극자외선(EUV) 등 노광장비는 반도체 웨이퍼에 빛을 비춰 미세한 회로를 새기는 장비로, ASML은 세계 노광장비 시장을 장악하고 있다.

미국은 2019년 EUV 장비 수출을 차단한 데 이어 지난해에는 DUV 장비 수출을 차단하는 새로운 수출 규제를 내놨다. 당초 DUV에 대한 수출 규제는 올 1월부터 시행될 예정이었다. 하지만 ASML이 수출 규제 시행을 앞두고 네덜란드 정부의 승인을 얻어 마지막 DUV 장비 수출에 나서자 미국이 이를 차단한 것이다. 블룸버그통신은 제이크 설리번 백악관 국가안보보좌관이 지난해 말 직접 네덜란드 정부에 전화를 걸어 DUV 수출 취소를 요구했다고 전했다.

미국이 구형 반도체 장비 수출 사전 차단을 위한 외교적 압박에 나선 것은 중국 통신업체 화웨이가 7nm(나노미터·1nm는 10억분의 1m) 첨단 반도체가 장착된 스마트폰을 출시하는 등 미국의 수출 규제 우회 우려가 커지는 데 따른 것으로 보인다.

미국은 새해에도 중국에 대한 반도체 규제를 강화할 방침이다. 지나 러몬도 미 상무장관은 지난해 12월 블룸버그 인터뷰에서 중국의 첨단 반도체 기술 개발에 대해 “미국은 국가 안보를 위해 가능한 한 가장 강력한 조처를 할 것”이라고 밝혔다.