日, ‘액체 불화수소’ 韓 수출 허가…산업부 “日태도 변화 판단 일러”

일본의 양대 불화수소 전문 제조업체인 모리타화학공업이 ‘고순도 액체 불화수소’를 최근 한국에 수출했다고 니혼게이자이신문이 10일 보도했다. 불화수소(액체, 기체 모두 포함)는 일본 정부가 지난해 7월 초 대한(對韓) 수출규제를 강화한 3개 반도체 소재 중 하나다. 지난해 11월 양대 업체 중 하나인 스텔라케미파가 고순도 액체 불화수소를 한국에 수출한 데 이어 2개월 만에 추가로 수출이 이뤄지는 것이다.

니혼게이자이에 따르면 일본 오사카에 본사를 둔 모리타화학은 일본 정부의 허가를 받아 한국으로 수출할 액체 고순도 불화수소를 8일 출하했다. 이 업체는 지난해 12월 24일 일본 정부로부터 한국 수출 허가를 얻었다.

모리타화학은 한국의 불화수소 시장의 약 3분의 1을 점유하고 있으며 삼성전자와 SK하이닉스 등에 제품을 공급해 왔다. 모리타화학공업 측 관계자는 동아일보와의 통화에서 “일본 정부의 심사가 완화됐는지는 잘 모르겠다”고 전했다.

일본 정부가 한국에 대한 수출규제를 강화한 이후 한국에서는 대체 공급원을 발굴하거나 주요 원료를 국산화하려는 시도가 이어졌다. 니혼게이자이는 한국에 포토레지스트 생산시설을 구축하기로 했다는 듀폰의 최근 발표를 전하며 “듀폰과 같은 움직임이 늘어나면 일본 기업의 경쟁력에 영향을 줄 가능성도 있다”고 10일 보도했다.

산업통상자원부에 따르면 일본이 지난해 7월 이후 고순도 액체 불화수소의 수출을 허가한 것은 이번 건을 포함해 총 4건이다. 기체 불화수소(에칭가스)도 3건 허가를 받았다. 3대 규제 품목 중 가장 빨리 수출 허가가 났던 포토레지스트(감광액)는 지금까지 6건, 플루오린폴리이미드는 2건의 수출 허가를 받았다. 산업부 관계자는 “(일본의 태도 변화를) 판단하기에는 이른 것 같다”고 말했다.

도쿄=박형준 특파원 lovesong@donga.com
세종=주애진 기자 jaj@donga.com