「털끝만한 움직임도 감지한다」. 삼성종합기술원 마이크로시스템랩 송기무박사팀이 1초에 0.05도의 움직임과 중력가속도의 1천분의3 정도의 충격을 감지해낼 수 있는 극소형 관성센서를 개발했다. 반도체의 표면미세가공 기술을 응용한 이 관성센서는 미세한 움직임을 감지, 전기신호로 바꿔 전달해주는 기능을 갖고 있다. 반도체를 사용해 관성센서를 제작한 것은 세계 처음. 눈에 띄지 않는 미세한 움직임을 감지하는 관성센서는 최근 관련산업이 크게 신장하고 있다. 자동차의 에어백, 손의 떨림을 보정해주는 캠코더, 충격의 강도에 따라 현가장치의 부드러움을 조절해주는 자동차의 전자현가장치 등이 모두 이 관성센서 때문에 가능해졌다. 관성센서는 또 전자펜은 물론 허공에서 작동하는 3차원 마우스도 가능하게 하고 있다. 움직임을 전기신호로 연결하는 부문에 필수적인 소자가 되고 있는 셈이다. 삼성종합기술원은 개발한 관성센서가 가로 14㎜, 세로 7㎜, 두께 2.5㎜에 불과해 다양한 전자제품과 기계장치에 응용될 수 있다고 밝혔다. 또 반도체를 이용했다는 점에서 기존의 관성센서에 비해 가격을 크게 낮출 수 있다는 것. 〈최수묵기자〉