TDMAT 소량 누출 후 곧바로 배기 조치

SK하이닉스 청주사업장에서 액체 가스가 누출돼 직원들이 대피하는 소동이 빚어졌다.
10일 SK하이닉스에 따르면 전날 오후 8시 20분께 충북 청주시 흥덕구 향정동 SK하이닉스 청주 3공장에서 액체 가스(TDMAT) 소량이 누출됐다.
이 화학물질은 반도체 웨이퍼에 티타늄을 입히는 용도로 쓰이는 것으로 알려졌다. 유해 화학물질로 등록되진 않았다.
SK하이닉스 관계자는 “경고등이 뜨자마자 누출된 액체가스를 배기 처리했다”며 “곧바로 조치해 누출량은 경미하다”고 말했다.
이 공장은 현재 정상 가동 중이다. 2008년 준공된 SK하이닉스 청주3공장은 낸드플래시 제품을 생산하고 있다.
[청주=뉴시스]