네덜란드 반도체 장비회사 ASM은 23일 서울 강남구 조선팰리스에서 기자간담회를 열고 1억 달러(약 1300억 원) 규모의 국내 투자 계획을 발표했다. ASM은 2025년 완공을 목표로 경기 화성캠퍼스에 제2제조연구혁신센터를 새로 지어 생산 능력을 확장한다. 기공식은 24일 열릴 예정이다.
ASM은 2019년 화성 동탄에 캠퍼스를 짓고 플라스마 원자층증착(PEALD) 장비 등을 개발·생산해 왔다. 증착은 반도체 웨이퍼가 전기적 특성을 갖도록 다양한 물질을 입히는 공정이다. 이번 제2제조연구혁신센터를 통해 연구개발(R&D) 시설의 면적은 기존의 2배로, 생산 면적은 3배로 늘어난다.