반도체 초음파 자동화 검사 장비 개발

[2023 대한민국 중소벤처기업 대상]
대한민국 중소벤처기업 대상 기술혁신 부문

반도체 검사 장비 제조업체인 ㈜엠아이티가 ‘2023 대한민국 중소벤처기업대상’ 기술혁신 부문 수상의 영예를 안았다. 독창적인 초음파 자동화 검사 장비를 개발하고 국산화를 통해 장비 산업 발전에 기여한 공로를 인정받았다.

최종명 대표

엠아이티는 반도체 웨이퍼 내층 결함 검출용 초음파 자동화 검사 장비를 개발했다. 반도체 웨이퍼 내층에 대한 접합 면의 내부 보이드, 크랙, 박리 등의 결함을 전수 검사할 수 있는 비파괴 방식으로 300㎜ 웨이퍼 검사 장비를 대기업에 공급했다. 이는 국내에서 처음 상용화된 초음파 자동화 검사 장비이기도 하다.

또한 엠아이티는 전력 반도체 및 DCB 세라믹 기판 결함 검사에 특화된 초음파 자동화 검사장비도 성공적으로 상용화했다. 이와 같은 과정을 통해 관련 기술 수준을 한 단계 더 높였다는 평가를 받고 있다. 엠아이티 최종명 대표는 “기술 혁신을 통해 국내 반도체 산업에 기여하는 가운데 앞으로의 기술 발전과 혁신에도 속도를 내겠다”라고 수상 소감을 밝혔다.

황해선 기자 hhs2552@donga.com