일본의 양대 불화수소 전문 제조업체인 모리타화학공업이 ‘고순도 액체 불화수소’를 최근 한국에 수출했다고 니혼게이자이신문이 10일 보도했다. 불화수소(액체, 기체 모두 포함)는 일본 정부가 지난해 7월 초 대한(對韓) 수출규제를 강화한 3개 반도체 소재 중 하나다. 지난해 11월 양대 업체 중 하나인 스텔라케미파가 고순도 액체 불화수소를 한국에 수출한 데 이어 2개월 만에 추가로 수출이 이뤄지는 것이다.
니혼게이자이에 따르면 일본 오사카에 본사를 둔 모리타화학은 일본 정부의 허가를 받아 한국으로 수출할 액체 고순도 불화수소를 8일 출하했다. 이 업체는 지난해 12월 24일 일본 정부로부터 한국 수출 허가를 얻었다.
모리타화학은 한국 불화수소 시장의 약 3분의 1을 점유하고 있으며 삼성전자와 SK하이닉스 등에 제품을 공급해 왔다. 모리타화학 측 관계자는 동아일보와의 통화에서 “일본 정부의 심사가 완화됐는지는 잘 모르겠다”고 전했다.
일본 정부가 한국에 대한 수출규제를 강화한 이후 한국에서는 대체 공급원을 발굴하거나 주요 원료를 국산화하려는 시도가 이어졌다.
산업통상자원부에 따르면 일본이 지난해 7월 이후 고순도 액체 불화수소의 수출을 허가한 것은 이번 건을 포함해 총 4건이다. 기체 불화수소(에칭가스)도 3건 허가를 받았다. 3대 규제 품목 중 포토레지스트(감광액)는 지금까지 6건, 플루오린 폴리이미드는 2건의 수출 허가를 받았다. 산업부 관계자는 “(일본의 태도 변화를) 판단하기에는 이른 것 같다”고 말했다.
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